空间及成本最佳化的半导体研磨液三桶式系统

亚泰专利产品 三桶式研磨液供应系统。

半导体晶圆制造，由微米制程精度控制，进展为着重于微纳米的制程，为确保机械平坦化(Chemical Mechanical Planarization；CMP)制程稳定性及品质优化，研磨液(Slurry)从进料端的混料、搅拌、输送及分派至制程端的工艺掌握极为重要。亚泰半导体设备致力于提供高效能定制化的化学机械研磨液输送，专注于混料设备中的桶槽内研磨液搅拌制程精进，以符合人因维修的安全空间下，提供「三桶式系统」作为具备更优化安全冗余度、混料更精准且实时、确保研磨液品质更佳且系统营运成本更低的系统作业方式。

研磨液供应系统所使用的习用技术多为两桶式或四桶式。以两桶式为例，以双桶槽概念，一混料单位，搭配一供料单位之方式，连续供应液体混料。虽然建置成本低廉，但无法承担任一单位因维修或清洗所造成的失效，造成停止供应。四桶式则具备四单元桶，二单元混料、二单元供料；因此空间需求增加，且元件装置增加，相对装置运作次数高；虽可达到不断料及安全冗余度效用，但相对建造及营运成本较高。无论两桶式或四桶式的方法，在运行上皆有高科厂房无法承受的风险或低效率隐忧。

三桶式系统排除了两桶式及四桶式的劣势，运用三个桶子相互支持，使任一个桶子皆具备相同功能，既可达成混料，也可供应、暂存或维护。此系统装置除了可以平行式个别输出，亦可串联式输出，灵活的提供复数以上的回路需求，大量的提供输出的要求。为达到三桶式的稳定运作，亚泰掌握最佳化的管路配置方式，提供稳压稳流的供应回路，搭配实时监测各桶的品质运行条件。三桶式的系统运作兼具绿色环保及供应效率的优势，利用极小化的厂房设施布置局限空间达到最大化的安全余度，可实时生产最新鲜混料品供应，使装置运转次数最小化，操作零件频率降低即为相对机组维护寿命成长，并且可在不断料的需求下完成装置检修的目的。

亚泰的三桶式研磨液供应系统获发明专利认可，具备节省空间、节省成本、用料安全水位考量等技术进步性。使研磨液精准的再次混合、搅拌、稀释，确保其分散性及品质，为半导体先进制程提供一项可靠的厂务运作。其完整的供应系统介绍，包括亚泰独家研发的在线品质监测及提升系统效率的独家零组件，将在国际半导体展2020 SEMICON Taiwan的K2290摊位展出。