思达推出下一代一体化Per-Pin SMU可靠度测试系统

参数与可靠度测试系统厂商思达科技，宣布推出冥王星Pluto系列测试系统，以满足封装级与晶圆级可靠度测试系统相关的测试需求。此款新的先进测试系统，涵盖了包括HCI、BTI、OTF、TDDB以及EM等等的可靠度需求。作为下一代的解决方案，冥王星系列可提高量测的精准度和效率，符合工程和生产方面的双重需要。

下一代冥王星系列是一体化的可靠度测试系统，提供了全球产业界二个等待已久的基本能力。首先是per-pin SMU的量测速度降至1微秒；其次是它完整的HCI、GOI和EM一体化可靠度测试验证能力。最多960个的per-pin SMUs支持HCI/BTI可靠度测试，晶体管最多至480个，GOI最多达960个栅氧化层，和EM最多则是480个平行互连。这款新型又独一无二的可靠度测试系统，超越了市场上所有竞争的可靠度系统，用最低测试成本获得最高的测试性能。

此外，四个象限的per-pins SMU具有多量程电压和电流源的量测能力，能够在最短的测试时间内，用最高精准度量测纳米元件。配置独立的per-pins SMU，使用者可以为内部需求创建订制的测试演算法，同时支持未来可靠度验证的测试。冥王星系列的SMU可支持HCI/BIT和GOI，应力电压高达20V。测量每个通道的电流低至10pA。最高达400mA应力电流的纳米级精准度的EM(电子迁移)，具有微伏电压量测精度，可用在电阻低至毫欧姆的纳米互连。

冥王星可靠度测试系统能连接至单独控制的微型烤箱模块，用于封装和模块级的不同温度下测试的待测元件(DUT)。思达还拥有最好的多待测元件晶圆级探针台之一，在领先客户中有数十个安装基地，可以无缝整合冥王星per-pin测试仪器，形成下一代晶圆级低至3纳米的可靠度验证。

思达科技CEO刘俊良博士表示：「长期以来，我们听取了使用者对于per-pin SMU可靠度测试系统的意见。为了满足这类需求，思达率先开发下一代冥王星per-pin SMU可靠度测试系统。它支持全范围的纳米制程，以及元件可靠度验证，充分的灵活度让使用者可按照自己的需求，开发订制测试的演算方法。这款一体化的可靠度开放平台测试系统的高产量和测试能力，将彻底改变可靠度测试产业，使用者可以在一个系统中，结合和匹配不同的可靠度测试。思达冥王星可靠度测试系统将大幅降低整体投资，所有半导体晶圆厂的产能规划也能因此更为弹性。」