上银晶圆移载模块(EFEM)通过SEMI S2国际安规认证

上银晶圆移载模块(EFEM)通过SEMI S2国际安规认证，PMC李健勳副总经理(图左) 、上银科技吴俊良助理总经理(图右)。

上银科技(HIWIN)开发团队经过多重的研发试炼终于通过晶圆移载模块(EFEM)的认证，并于9月13日在台中营运总部举行SEMI S2国际安规认证授证典礼，上银科技由 吴俊良助理总经理代表受证。SEMI S2是国际半导体设备及材料产业协会(SEMI)针对制程设备供应商所规范的安全标准，为国际间各半导体制造厂商采购设备的重要依据。

上银科技晶圆移载模块(EFEM)通过SEMI S2设备安全卫生环保基准之认证，对于HIWIN晶圆机器人进入半导体设备产业有更多机会，并可满足半导体设备在晶圆生产过程中的品质与安全需求。

精密机械研发中心(PMC)授证代表：李健勳副总经理在致词时表示：「根据SEMI公布的报告指出，2019年全球晶圆厂设备支出预估增加5%，具市场潜力。今天很高兴能代表验证单位授与上银晶圆移载模块(EFEM)的SEMI S2证书，上银科技EFEM晶圆移载模块支持通讯协订SECS/GEN、简易人机界面，使用者可轻松操作系统，其关键零组件如：伺服马达、直驱马达、控制器、交叉滚柱轴承、线性滑轨、滚珠螺杆与单轴机器人等均为HIWIN自制产品，透过垂直整合，创造强大优势，显示上银为具有系统化整合能力之制造厂，此成果也展现HIWIN集团长期厚植研发的能量与实力。」

HIWIN-EFEM可依客户需求如Wafer ID读取、晶舟盒RFID感应、晶圆寻边校正、凸片检知、站点在席传感等进行规划，并依产品规格搭配对应款式之HIWIN晶圆机器人，使设备和制程更有效率及竞争力。产品生产过程中HIWIN-EFEM可监控系统状态，确保制程效率、洁净度以及安全性，能满足新时代半导体设备最严格之需求。