泛铨发表最新SEM EDS分析
- 郑斐文／台北
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a) Cu，b) O，c) Si，d) N与e) Ta。f)为所有元素叠加在一起呈现的结果。g) SEM放大照片。
泛铨最新引进的SEM EDS化学成分分析可以清楚地呈现厚度只有约10 nm的金属层。SEM EDS针对Samsung Galaxy S8 CPU在6T-SRAM区域进行分析，侦测到5种元素，分别是Cu、O、Si、N与Ta。所有元素叠加在一起呈现的结果。能够清楚呈现Cu线边缘的Ta层厚度大约是9.2 nm到11.9 nm。未来在分析上能更加准确。
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