海德汉于SEMICON展出一系列高精度产品

海德汉于2018年SEMICON TAIWAN，展出海德汉集团一系列的高精度产品：海德汉开放式光学尺与模块式角度编码器、NUMERIK JENA与RSF的开放式光学尺。同时，展出ETEL高精密运动平台Vulcano，于南港展览馆1楼J2740参观，即能一睹ETEL高速运动控制系统的极佳制振功能。

新一代开放式光学尺LIDA400系列，包含新一代光学信号处理单元(HSP)的光学尺；除相对较大的容许误差便于现场组装的施作，当光学尺在实际运作遇到因污染而信号衰弱或异常时，新的ASIC芯片，可发挥其功能，透过光源的控制，使得光学尺读头仍能提供稳定的信号输出。

RSF的增量式光学尺MS15独特光学设计与安装容许误差较大的特色，降低了对污染的敏感度。此一系列采用独特的扫描原理，允许高速度达10m/s。同时内建左右极限及原点信号输出，让使用者能感受到机台运动状态的稳定性。

Numerik Jena的增量式光学尺LIK与增量式旋转编码器RIK系列，轻薄短小特色适用于各种电子与半导体应用以及有限设备空间。也可依设备需求选择真空的版本。

海德汉集团ETEL推出Vulcano XY精密运动平台结合ZT3H旋转倾斜和Z轴模块适合用于晶圆的前制程段。机械轴承的设计在XY水平与垂直方向提供极高刚性，允许高加减速度(可达2.5g)，最高速度(可达1.5m/s)，优异的双向重复精度(X轴与Y轴：±350nm)以及纳米等级的定位稳定性。Vulcano内建高速高精度控制器AccurET VHP与主动式制振平台QuiET，能大幅增强高速高精度运动性能，适合应用于纳米等级的量测机台。

在高速转塔式的IC handler 应用，ETEL提供了高速RTMBi旋转分度DD系列，TMMA系列高速音圈Z轴，和AccuET控制器的整合方案，实现了零整定时间，TMMA音圈10亿趟以上的高寿命，和经济且高性能的sensorless精密力量控制，已有应用实绩，且性能表现深受认同。