台积电首创乾式EUV光罩洁净技术 改善效益达20亿元
- 陈玉娟／新竹
台积电积极导入极紫外光(EUV)微影制程技术，协助客户快速实现先进产品设计，为提升EUV良率并实践绿色制造使命，研发「乾式EUV光罩洁净技术」进一步取代传统的冲洗流程，透过分析落尘、排除污染源的方式，成功使机台内每1万片晶圆曝片的落尘数从数百颗减少到个位颗...
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