三星投资设备业者FST 加速EUV光罩护膜开发
- 蔡云瑄／综合报导
随着EUV制程日趋重要，韩国设备业者FST正在开发极紫外光(EUV)光罩护膜(pellicle)及相关设备，发展动向受到外界关注，近期传出三星电子(Samsung Electronics)投资FST，投资规模达430亿韩元(约3,801.94万美元)。
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