EUV双重曝光风险高 3纳米静待high-NA新机2022试产成效
- 梁燕蕙／综合报导
无论是台积电从2019年初第二代强化版7纳米制程才开始导入EUV技术，抑或是号称率先采用7纳米EUV制程技术的三星电子(Samsung Electronics)，直到2019年下半才终于解决良率开出问题，正式量产7纳米EUV芯片，全球两大晶圆代工业者如今皆已...
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