光阻剂新创Inpria三度获三星注资 传台积电亦参与投资
- 林瑜淳／综合外电
三星电子(Samsung Electronics)传对美国光阻剂新创业者Inpria进行追加投资，持续朝向副会长李在熔提出的系统半导体发展愿景迈进。极紫外光(EUV)是应用在晶圆代工超微细制程的新一代技术，三星对相关领域企业投资不遗余力。
据...
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