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3D NAND持续微缩 恐加深量测难度

  • 涂翠珊

在发展3D NAND微缩时,厂商将面临许多技术上的挑战,而量测技术(metrology)便是其中较为棘手的部分。量测技术能够透过测量以及结构特征化找出问题所在,并确保芯片产...

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