3D NAND持续微缩 恐加深量测难度
- 涂翠珊/综合报导
在发展3D NAND微缩时,厂商将面临许多技术上的挑战,而量测技术(metrology)便是其中较为棘手的部分。量测技术能够透过测量以及结构特徵化找出问题所在,并确保芯片产量,但随着3D NAND技术持续发展,量测设备的成本与功能性也将不断提升。
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