FinFET和FD-SOI制程控制的挑战
- 刘慧兰／综合报导
FinFET和FD-SOI制程技术虽然都面临设计和处理系统性缺陷的增生、制程利润削弱以及变异增加等挑战，但基于两者在架构和材料上的根本差异，在开发下一代FD-SOI和FinFET技术所需的制程时，必须采用特定的制程控制策略，才能帮助晶圆厂侦测、量化和解决...
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