EUV被视为晶圆制造救世主 然技术瓶颈仍难克服
- 刘杰中／综合报导
根据Semiconductor Engineering报导，EUV微影技术被视为晶圆制造产业的「救世主」，多家业者均希望靠该技术有效突破线宽瓶颈。不过专家表示，EUV技术发展进度不一，且目前仍有无法克服的限制，包括镜片的可替换性，以及成像品质的疑虑，虽不致于...
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