大陆专项技术总师叶甜春:系统部署14纳米 明年进入产业化阶段
- 徐静初/综合报导
大陆国家科技重大专项技术总师、中科院微电子研究所所长叶甜春近日透露,目前专项已经在14纳米设备、制程、封装、材料等方面进行了系统部署,预计2018年将全面进入产业化阶段。「十三五」时期,专项将重点支持7至5纳米制程以及3D存储器等大宗战略性产品和国际先进技术的...
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