日系半导体设备厂居安思危 担心EUV前景
- 江仁杰／综合报导
日本厂商在半导体设备与材料上原本就具有优势，受美国科技战挤压的国内，也看重日厂有可能协助国内突破美国技术封锁。而在晶圆制造往更精密的极紫外光(EUV)技术发展之后，虽然于EUV微影设备上缺席，但也发展出其他EUV相关的设备与材料。然而，发展EUV相关也...
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