7纳米EUV制程战火燃 台积电3月领先量产
- 陈玉娟／新竹
延续7纳米制程领先优势，台积电支持极紫外光(EUV)微影技术的7纳米加强版(7+)制程将按既定时程于3月底正式量产，而全程采用EUV技术的5纳米制程也将在2019年第2季进入风险试产。
据了解，独家提供EUV设备的ASML，先前预估...
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