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高阶制程产生多种有毒气体 有赖持续监测控制

交通大学环境工程所讲座教授蔡春进。

由于空气污染与肺癌、肝癌有高度的相关性,早在2013年国际癌症研究中心已将室外空气污染物列为第一级致癌物。而随著高科技产业持续迈向高精密制程,加上全球都市化程度日深,根据WHO研究报告指出,2018年约有700万人因暴露在空污微粒之中而死亡。为此,各国政府早在多年前即制定相关法规,台湾亦在2012年增订PM2.5空气质量标准,也让空气质量逐年获得改善。

交通大学环境工程所讲座教授蔡春进指出,根据环保署统计资料显示,台湾细悬浮微粒成份为硫酸根、硝酸根、铵根、有机碳及元素碳等,部分源自于境外传输,其余则为工厂、车辆及其它污染源。由于高科技产业的高精密制程,会产生各种酸碱废气、有机溶剂废气及毒性/燃烧性气体等等,业者若没有针对设备进行监控与处理,势必会危害到员工与一般民众的健康。

因应空气污然日益严重,市面上气体检测工具也持续进步,如新世代气胶仪器可连续自动监测、手动采样等功能,除可量测质量浓度、数目浓度、化学成份外,也能称重得质量浓度,后续做化学分析等。若要对酸碱气体进行24小时长期监测,则可使用平板式湿式分离器(PPWD),搭配在线实时化学成份分析系统,即可获得大气酸碱气体及PM2.5微粒水溶性离子的浓度。

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