Hitachi Regulus 8220是新一代的冷场发SEM，具有最佳的空间分辨率与最小的能量发散，是分析先进制程IC失效／异常的最佳利器。
Hitachi Regulus 8220 SEM low KV VC在不同CT的影像对比可以清楚地呈现出来；Regulus 8220可以轻易地解析失效／异常位置，并具有比前一代型号较佳对比与空间分辨率；且配备BSE传感器的Regulus 8220可以轻易观察到下层失效／异常结构。
